普通表面或多孔材料對氣體的物理吸附或吸收可用來獲得高真空。可以在任一壓強(qiáng)下利用吸附或吸收技術(shù)，但由于實(shí)際上的限制，它只作為某種特殊應(yīng)用，在真空技術(shù)中發(fā)展起來。
為了消除油封機(jī)械泵產(chǎn)生的碳?xì)浠衔镂廴镜目赡苄裕奖贸Ｓ糜诔哒婵障到y(tǒng)的粗抽，并且常常與干式(無油)機(jī)械泵一起使用。按抽氣步驟依次使用兩臺或三臺吸附泵，可以從真空容器中排走大量的空氣。通過轉(zhuǎn)換到離子-吸氣劑泵抽氣，可以獲得足夠低的壓強(qiáng)而不使其過載。
利用吸附獲得高真空，其方法可以是通過升溫將吸附氣體物質(zhì)解吸，然后回到室溫，也可以冷卻到低溫。
商業(yè)用吸附泵通常是為獲得前級真空而設(shè)計的。然而，用基本結(jié)構(gòu)類似的泵進(jìn)行多級抽氣也能獲得高真空，但要有較高的入口流導(dǎo)。
氣密封接的器件通常在升溫條件下排氣并封接。冷卻期間，吸附位的數(shù)量要多到足以提供明顯降低壓強(qiáng)的抽氣作用，從而可將壓強(qiáng)降低一個或幾個數(shù)量級。無數(shù)例子說明，凡有大的溫度變化時，在高真空中必然存在吸附效應(yīng)。例如，高真空爐在石必加熱元件還熱的情況下使真空護(hù)與泵隔離并切斷電源，只要真空爐密封良好而且殘余氣休能被充分地吸附時將發(fā)生真空爐的高真空維持一夜的情況。
